이온 밀링은 물리과학 분야에서 시료의 표면 특성을 개선하기 위해 사용됩니다. 일반적으로 불활성 가스인 아르곤(Argon)을 이온화한 뒤 시료 표면을 향해 가속합니다. 이온의 운동량 전달을 통해 충돌한 이온이 시료 표면에서 물질을 제어된 속도로 Sputtering(제거)합니다.
오늘날의 첨단 소재 분석에서 주사전자현미경(SEM)은 소재 구조와 물성을 신속히 연구하는 데 이상적인 기술로 평가받습니다. SEM Mill은 SEM 영상 및 분석에 필요한 시료 표면 특성을 구현하는 데 탁월한 도구입니다.
-고에너지 모드는 빠른 밀링에 적합
-저에너지 모드는 시료 연마에 적합
-각 이온 소스의 빔 전류를 직접 측정하여 정밀한 공정 관리 가능
-직관적인 Interface로 밀링 매개변수 간단히 설정
-대기중 산화 민감성이 높은 시료를 위한 환경 제공
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이온 밀링은 물리과학 분야에서 시료의 표면 특성을 개선하기 위해 사용됩니다. 일반적으로 불활성 가스인 아르곤(Argon)을 이온화한 뒤 시료 표면을 향해 가속합니다. 이온의 운동량 전달을 통해 충돌한 이온이 시료 표면에서 물질을 제어된 속도로 Sputtering(제거)합니다.
오늘날의 첨단 소재 분석에서 주사전자현미경(SEM)은 소재 구조와 물성을 신속히 연구하는 데 이상적인 기술로 평가받습니다. SEM Mill은 SEM 영상 및 분석에 필요한 시료 표면 특성을 구현하는 데 탁월한 도구입니다.
-고에너지 모드는 빠른 밀링에 적합
-저에너지 모드는 시료 연마에 적합
-각 이온 소스의 빔 전류를 직접 측정하여 정밀한 공정 관리 가능
-직관적인 Interface로 밀링 매개변수 간단히 설정
-대기중 산화 민감성이 높은 시료를 위한 환경 제공
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