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에너지 분산형 X선분석장비 Genesis XM4

>>>검출기의 자세한 것은 이쪽으로.
 
Genesis XM4
에너지 분산형 X선분석장비
전자현미경에 장착하여 관찰 영역에 대한 정성정량 분석과
Mapping & Linescan 을 할 수 있습니다.
또한 전자현미경의 스테이지를 EDS에서 제어하여 Multi-area
에 대한 정성정량분석 및 Mapping이 가능 합니다.

  • Genesis XM2의 특징은 그대로, 응용 분석에 이용합니다.
  • 전자현미경 스테이지를 제어하는 자동 분석이 가능합니다.
  • 각종 검출기(WDS, EBSD)를 통합 할 수 있는 확장성이 용이합니다.
 
   
Genesis XM2 의 특징은 그대로
  • 조작이 간단하고, 누구라도 사용할 수 있습니다.
  • 고감도의 에너지 분해가 가능합니다.
  • 누가 측정해도 같은 결과를 얻을 수 있습니다.
  • 비 전도성 샘플에서도 정확하게 분석을 할 수 있습니다.
  • Mapping 결과를 자유롭게 재검토 할 수 있습니다.
  •  
       
    넓은 범위의 Spectral Mapping을 자동으로 수행합니다.
    Stage & Column control 기능을 사용하여 넓은 범위의
    Spectral Mapping을 자동으로 수행합니다.(Montage Map)
    멀티 필드에서도 결과의 검증을 자유롭게 할 수 있습니다.

    응용예

    • 저 배율 에서 보이지 않는 샘플의 mapping
     
       
    여러 지역을 동시에 선택하여, 자동적으로 분석이 가능합니다.
    분석영역을 Image에서 직접 지정해 Multi point 분석을 실시합니다.
    분석영역 선택은 Point, Area, Random…등 분석목적에 맞게 다양하게
    지원됩니다. 또한 Stage & Column control 기능을 사용하여 넓은
    범위의 Multi point 분석이 가능 합니다.

    응용예

    • Sample stage에, 여러 개의 sample을 mount하고, Multi Point 의 자동 정성 및 정량 분석.
    • 불균일 시료의 Multi Point정량에 의한 정확한 정량 분석.
     
       
    Particle Phase Analysis
    입자 자동 분석 소프트웨어

    옵션

    BSE상으로부터 입자 해석을 실시해, 그 때에 얻을 수 있는 입자의
    좌표 데이터를 사용하고, 모든 입자에 대해 자동 분석을 실시합니다.
    이 결과, 각 입자에 대한 입자 해석 결과에 의한 물리적 데이터와
    X선분석에 의한 화학 조성 모두를 얻을 수 있습니다.

    응용예

    • 필터로 포집한 입자의 해석
    • 금속 중의 석출 입자의 해석에 의한 개재물의 판정
     
       
    GSR

    옵션

    GSR은 총기의 탄흔을 조사하는 특수 소프트웨어입니다.
    EDAX GSR은 전세계적으로 공통의 표준 정량을 사용합니다.