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EDS/EBSD 통합 시스템 Pegasus
 
Pegasus
EDS/EBSD 통합 시스템
Pegasus는 Genesis(EDS)와 OIM(EBSD)의
통합 모델로 원소정보와 결정계 정보를
합한 확실한 상해석을 실현해, 새로운 재료 해석,
조직 해석을 가능하게 했습니다.

  • 작고 가벼움
  • Genesis XM4의 기능에, 다른 분석 기술의
    편성으로 응용 분석에 대응합니다.
  • EDS/EBSD 동시 분석을 할 수가 있습니다.
  • EDS 데이터를 EBSD 해석에 응용할 수 있습니다.
  • 자동 상 판정 기술로더욱 높은 정밀도의 해석을 할 수가 있습니다.
 
   

FSD 12mm Out 방위 콘트라스트

FSD Full Insert 요철 콘트라스트

BSE 조성 콘트라스트
HIKARI 고속 동작형 OIM 검출기
HIKARI는, 최신 기술을 집약하여 만든 하이 스피드 OIM 검출기입니다.

  • 초당 최고 속도 450 Point/초
  • 통합 FSD
  • PC컨트롤 슬라이드
  • 터치 센서에 의한 충돌 방지 회로

FSD는 검출기의 거리에 따라 다른 종류의 이미지정보를 얻을 수 있습니다.


샘플:광물

 
   
OIM 검출기
EBSD 패턴을 이용한 일그러짐 측정을 포함해
모든 해응용분석에 대응하는 만능형 검출기

형식DigiView IV
Index rate150 Point/초
슬라이드부 진공 씰메탈 빌로우즈
검출기 동작모터 드라이브

 
   
고속 동작형 OIM 검출기
매 초당 최대 450 Point로 고속 측정이 가능한 OIM 검출기입니다.
통상의 측정을 효율적으로 행하거나 In-Situ 관찰에 최적입니다.

형식HIKARI
Index rate450Point /초
슬라이드부 진공 씰메탈 빌로우즈
검출기 동작PC제어 모터 드라이브

 
   

방위 맵

Phase 맵
응용예

EBSD만으로는 해석이 곤란한 샘플도, Pegasus라면 용이하게 해석할 수 있습니다.


샘플:
CuO(입방정)/CuAl2O4(입방정)
CuAlO2(세방면정)/Al2O3(세방면정)

같은 결정계의 위상은 EBSD 만으로는 판정이 어렵기 때문에 EDS Data와의 통합을 해야만 Phase Map을 구현할 수 있습니다

 
   



방위 맵

방위 맵


EDS로 기본적인 성분분석을 한 후 EBSD로 미세조직에 대한
위상을 해석하는 ChiScan은 EDS/EBSD 통합에 의해 동시 측정을
가능하게 한 획기적인 방법으로 다 위상 재료에 이용됩니다