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전자선 회절 결정 방위 해석 장치 OIM
 
OIM 결정 방위해석 장치
SEM에서 발생한 Kikuchi 패턴은 형광 스크린에 투영 되어 카메라로 받아들여집니다.
받아들여진 패턴은 IEEE1394를 통하여 컴퓨터로 보내지고
이미지는 화상처리와 데이터…등의 수치로 변화되어
하드 디스크에 저장된 후 분석전용 소프트웨어로 결과를 해석합니다.
또한 OIM은 정점에 대한 Point 분석 뿐만 아니라 지정한 범위
내에서 연속측정을 실시해 Mapping으로 표현됩니다.
 
   
OIM Data Collection EBSD 데이터 수집 소프트웨어
OIM Data Collection은 SEM에서 발생된 Kikuchi 패턴을 Indexing하는 소프트웨어 입니다.

  • Data의 손실 없이 고속으로 Indexing이 가능합니다.(최대 450 Indexed PPS)
  • 7정계 모든 지수부를 높은 정밀도에서 측정 할 수 있습니다.
 
   
OIM Analysis EBSD 데이터 해석 소프트웨어
OIM Data Collection로 수집한 데이터는, OIM Analysis에 의해서, 다양한 데이터 표기가 가능합니다.

  • 다양한 맵, 차트, 플롯이 가능합니다.
  • HighLight 기능에 의한 상호작용적인 데이터 해석 을 할 수가 있습니다.
 
   
OIM 검출기
EBSD 패턴을 이용한 일그러짐 측정을 포함해 모든 어플리케이션에 대응하는 만능형 검출기

형식DigiView IV
Index rate 150Point/초
슬라이드부 진공 씰메탈 빌로우즈
검출기 동작모터 드라이브

 
   
고속 동작형 OIM 검출기
매 초당 최대 450 Point로 고속 측정이 가능한 OIM 검출기입니다.
통상적으로 효율적인 측정을 원하고나, In-Situ 관찰에 최적입니다.

형식HIKARI
Index rate450 Point/초
슬라이드부 진공 씰메탈 빌로우즈
검출기 동작PC제어 모터 드라이브

 
   

Before

Durling

After
응용예

가열 스테이지를 이용한, In-Situ 관찰의 사례.


샘플:
Equal Channel Angular Processed (ECAP) Copper


SEM chamber내에서, 샘플을 150℃에 가열해 보관 유지.
상전이가 끝날 때까지, 2분 마다 65회의 측정을 실시했습니다.

 
   


3D Wizard에 의해 간단하게 셋업

3D IPF 맵

선택한 클러스터의 줌 업
응용예

FIB를 이용한 3D관찰의 사례.


샘플:Ni

3D Wizard 에서는, SEM의 설정부터,
OIM의 설정까지, 간단하게 3 D관찰 을 할 수가 있습니다.
종래의 2D에 가세하여, 새롭게 추가되는 3D정보에 의해,
지금까지 없는, 새로운 재료 분석, 조직 해석을 실현합니다。