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EDS/WDS 통합 시스템 Neptune
 
Neptune
EDS/WDS 통합 시스템
Neptune은 Genesis(EDS)와 LambdaSpec(WDS)의 통합 모델
로서 고정밀, 고감도 & 고분해능의 성분분석을 실현하였습니다.

  • Genesis XM4의 기능에, 다른 분석 기술을 결합함으로써 응용 분석에 유리해졌습니다.
  • HCO(High Collection Optics) 평행 빔 방식을 이용한 고감도 WDS 분석이 가능합니다.
  • EDS와 동일한 조작으로 WDS 분석 을 할 수가 있습니다.
 
   
기존의 광학계
  • Geometry는 원주상에 배치되기 위해 대형화 되었음.
  • 샘플 분광 결정간의 거리가 길고, 높은 빔 전류가 필요로 하여,시료의 손상이 컸음.
 
   
HCO(High Collection Optics) 평행 빔 광학계
  • Geometry가 작고 가볍기 때문에 다양한 SEM에 대응
  • 샘플에서 발생한 X선을 평행 빔 광학계로 포집 하여 고감도 수집이 가능.
 
   
EDS와 WDS를 하나의 소프트웨어로 통합
EDS의 간편한 소프트웨어를 사용하여 조작이 매우 쉽고 빠르며
편리한 WDS 분석을 시행할 수 있음.
분석위치는 X-ray의 양을 모니터링 하면서 최적의 위치가 되도록
SEM의 스테이지를 자동 조절함.(Auto Focus 기능)

스펙트럼의 중첩으로 인한 EDS 분석이 어려울 경우 그에 대응되는 WDS의 스캔 범위를 지정하여 분석이 가능함.
 
   
Light element 분석 전용 평행 빔 WDS 검출기 Beryllium(4) & Boron(5) 분석에 탁월함

형식LEXS
검출 방식평행 빔법
평행 빔
광학계
HCO
검출 범위100eV~2.4keV
분광 결정플랫형 결정

 
   
모든 원소의 검출이 가능한 평행 빔 WDS 검출기

형식TEXS
검출 방식평행 빔법
평행 빔
광학계
HCO
검출 범위150eV~10keV
분광 결정플랫형 5결정

 
   
응용예

EDS로 분리할 수 없는 스펙트럼도
Neptune은 쉽게 분리할 수 있습니다.

샘플:TiN
:LEXS
:EDS

 
   
응용예

EDS로 분리할 수 없는 스펙트럼도
Neptune은 쉽게 분리할 수 있습니다.

샘플:PbS
:TEXS
:EDS